针对空间受限的洁净车间,提供灵活的吊装解决方案。涵盖模块化轻型起重机、无尘室专用单轨起重机及铝合金轨道系统,助力高效、洁净的物料搬运,优化车间空间利用率。
智能洁净物料搬运系统(AMHS)是半导体晶圆厂的“大动脉”。国产AMHS厂商正通过底层核心技术攻坚、满足超严苛洁净与高精度标准、覆盖全工艺段规模化交付以及AI赋能系统级创新,全面打破国际垄断,助力半导体核心装备实现国产化与自主可控。
Class 100级(ISO 5级)洁净室起重机专为严苛无尘环境设计。设备采用304/316L不锈钢镜面抛光材质,结合全封闭负压密封结构与无油化驱动系统,从源头杜绝微粒排放与油污污染。配备防静电涂层与变频微振动控制技术,运行平稳且微粒释放极低,全面满足半导体、生物医药等高精尖行业的百级洁净度要求。
光掩膜制造车间洁净起重机生产厂家专业生产洁净室起重机,洁净行车,洁净行吊,洁净天车,洁净吊机,洁净悬臂吊等无尘厂房专用洁净提升系统。