薄膜半导体材料搬运吊装设备 | 高洁净·高精度·防震防污解决方案

在先进半导体制造工艺中，薄膜半导体材料（如硅基薄膜、GaN、GaAs、CIGS等）对搬运和吊装过程提出了极高要求——微米级精度、Class 1级洁净环境、零振动、无颗粒污染。为满足这一严苛需求，专业薄膜半导体材料搬运吊装设备应运而生，成为晶圆厂、显示面板厂及光伏产线不可或缺的核心辅助装备。

为什么需要专用吊装设备？

• 材料脆弱性高：薄膜材料厚度通常仅几微米至数百纳米，易因机械应力产生裂纹或剥离。

• 洁净度要求严苛：ISO Class 1~5洁净室标准，普通起重设备易引入颗粒污染。

• 定位精度要求高：对接PVD/CVD/刻蚀设备时需±0.1mm级重复定位精度。

• 防静电与电磁干扰：避免静电放电（ESD）损伤敏感电子结构。

我们的薄膜半导体搬运吊装设备核心优势

✅ 全封闭洁净设计

采用不锈钢主体+阳极氧化铝结构，内置HEPA/ULPA过滤系统，符合SEMI F57标准。

✅ 非接触式搬运技术

集成真空吸附、静电吸盘（ESC）或磁悬浮传输模块，避免物理夹持损伤。

✅ 智能防震控制系统

配备主动/被动减震平台，振动幅度＜0.5μm，保障搬运过程稳定性。

✅ 高精度伺服定位

X/Y/Z三轴联动，重复定位精度达±0.02mm，支持自动对位与视觉引导。

✅ 模块化 & 兼容性强

适配FOUP、Cassette、载板等多种载体，兼容4"~12"晶圆及柔性基板。

应用场景

• 薄膜沉积（PVD/CVD/ALD）前后物料转运

• 柔性OLED/LCD面板基板吊装

• 异质集成（Heterogeneous Integration）封装线

• 光伏薄膜电池（如钙钛矿、CIGS）生产线

定制化服务

我们提供从洁净室吊装天车、轨道式搬运机器人到桌面级精密吊装臂的全系列解决方案，并支持：

• 洁净等级定制（Class 1~1000）

• 防爆/防腐蚀版本（适用于特殊工艺气体环境）

• 与MES/AMHS系统无缝对接

探索专为薄膜半导体材料设计的高洁净度、。我们的解决方案确保在ISO Class 1洁净室内实现±0.02mm重复定位精度，采用非接触式搬运技术与智能防震控制，适用于PVD、CVD工艺及柔性OLED生产线。选择我们，享受零污染、零损伤的专业搬运体验。获取定制方案！